PRODUCT

도전과 혁신을 통하여 비상하는 회사
(주)이노맥스입니다.

SINGLE SPIN PROCESSOR
BACKSIDE SPIN ETCHER
제품설명
Wafer의 Stress Relief 목적으로 Chemical 등을 이용하는 설비로써 매입형 (낱장)으로 공정 진행.
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제품 사양 및 스펙

 

■ Features

1. Standard or Customized design by Customers' requirements

2. High throughput & Small footprint

3. Non drip function to prevent recontamination

4. Standby cleaning funtion to prevent crystallization of Dispenser inside

5. Chemical "Recycle" or "On shot drain" with chamber cup separation

6. Fully isolated wafer handling between befor and after processing

 

■ Specification


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