PRODUCT

도전과 혁신을 통하여 비상하는 회사
(주)이노맥스입니다.

SINGLE SPIN PROCESSOR
PLP SINGLE PROCESS CLEANER
제품설명
Panel을 별도 제작한 Casstte에 넣어 ATM을 이용하여 Process Chamber에 Loading 한 후 회전 (Spin) 을 시키면서 Recipe에 설정 된 내용에 따라 약액처리 (Chemical Process), 세정 (Rinse), 건조(Dry) 를 진행하는 매엽식 설비.
제품 사양 및 스펙

Features

1. Standard or Customized design by Customers' requirements

2. High throughput & Small footprint

3. Non drip function to prevent recontamination

4. Standby cleaning funtion to prevent crystallization of Dispenser inside

5. Chemical "Recycle" or "On shot drain" with chamber cup separation

 

Specification