PRODUCT

도전과 혁신을 통하여 비상하는 회사
(주)이노맥스입니다.

CASSETTE CLEANER
CASSETTE CLEANER
제품설명
Cassette Cleaner 는 Foup, Casssette 그리고 Cassette box 등을 회전 방식을 이용하여 세정 및 건조를 해 주는 장비입니다.
제품 사양 및 스펙

Features

1. Stand alone Type

3. Temperature Capability

 1) DIW : Up to 90℃

 2) AIR : Up to 150

 ▶ Can be improved depending on required process

4. Spin Capability

 1) During the Spray cleaning : Up to 10RPM

 2) During the Drying Process : Up to 110RPM

5. Particles

 1) 4 added per in² on carrier

 

Specification

1. Cassette Size

 1) 200mm Cassette & Cassette Box

 2) 150mm Cassette & Cassette Box