PRODUCT

도전과 혁신을 통하여 비상하는 회사
(주)이노맥스입니다.

WET-STATION
200mm Cassetteless Wet Station (Pre Diffusion, Pre Cleaner, Etc.)
제품설명
8" Wafer 2 Cassettes를 Loading 하여 Wafer와 Cassette를 분리하여 Wafer만 전면 Robot이 Chucking 하여 자동으로 이동하면서 Recipe에 설정 된 내용에 따라 Chemical Bath, DIW Rinse Bath (QDR Bath), Dryer 공정을 진행하는 일괄 처리식 (Batch type) 설비.
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제품 사양 및 스펙

■ Features

1. Standard or Customized design by Customers' requirements

2. Patent wafer transfer robot for high throughput

3. Divers experiences in Fab turn-key projects (Domestic & Oversea)

4. Reliable & User friendly software and hardware

5. Short lead time through standardized design

6. Low consumptions of DIW & Chemicals

 

■ Specification

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