연혁

도전과 혁신을 통하여 비상하는 회사
(주)이노맥스입니다.

(주)이노맥스가 걸어온
22년의 시간을 소개합니다.

새로운 시작과 발판 2001~2010
2001 .01

(주)디에스디엠(DSDM Co. Ltd.) 설립

2002 .11

Auto Cassetteless Wet Station 개발(n-Waters)

2005 .03

Single Wafer Spin Processor 개발(E.S.E)

2005 .09

(주)이노맥스(INNOMAX CO. Ltd.) 상호 변경

2006 .01

벤처기업인증

2006 .06

R&D CENTER 개설

2007 .06

사옥 신축이전

2008 .01

INNOBIZ 등록

2009 .01

IPA Dryer 개발 및 상용화

2009 .10

12" Spin Ether & Cleaner 개발

2009 .12

12" Flux Coater & Flux Cleaner 개발

2010 .04

12“ Spin scrubber 개발

도약과 현재 2011~현재
2011 .07

8” SPIN LIFT-OFF 개발

2011 .09

12” PR-STRIP 개발

2012 .03

CASSETTE LESS TYPE 수출 (JAPAN/8SET)

2012 .10

ASTRO 3083(8CHAMBER) 12” METAL ETCHER 개발

MARANGONI Dryer(IMD TRAUM) 12” PR-STRIP 개발

2012 .12

500만불 수출탑 수상

경기도 유망 중소기업 선정

2012 .12

지식경제부 장관표창

2013 .07

페어차일드 코리아 감사패 수상

2015 .02

중국 BUMPING LINE TURN-KEY 프로젝트(8SET)

2015 .12

8” BACKSIDE SPIN ETCHER(4CHAMBER) 개발

12” METAL ETCHER(8CHAMBER) 개발

2018 .02

싱가폴 신규 FAB TURN-KEY 프로젝트(6STE)

2020 .04

SPIN CHUCK 3세대 개발