PRODUCT

도전과 혁신을 통하여 비상하는 회사
(주)이노맥스입니다.

SINGLE SPIN PROCESSOR
SRD (WAFER SCRUBBER)
제품설명
Incoming Wafer 표면이나 Plasma Descum 공정 등을 진행 후 Wafer 표면을 Cleaning 공정을 목적으로 하는 매엽식(낱장) 설비.
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제품 사양 및 스펙

■ Features

1. Standard or Customized design by Customers' requirements

2. High throughput & Small footprint

3. Selectives etching process for device side or back side

4. Non drip function to prevent recontamination

5. Standby cleaning funtion to prevent crystallization of Dispenser inside

6. Fully isolated wafer handling between befor and after processing

 

■ Specification

 

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