PRODUCT

도전과 혁신을 통하여 비상하는 회사
(주)이노맥스입니다.

LAB SERIES
SPIN LAB SERIES
제품설명
Spin Lab Series 는 대학, 연구센터 등 개발을 목적으로 한 최적의 매엽식(낱장식) SPIN처리 방식의 TEST 장비입니다.
제품 사양 및 스펙

 

Features

1. Different size of wafers can be processed (Options)

2. Possible to apply multi chemical in one chamber (3Chemicals)

3. Manual wafer loading or Automatic wafer loading (Options)

4. Up to 450mm Wafer & Mask (Thickness 100)

5. Customized design is possible to meet customer's requirements

  ▶ Standard & Optional Nozzle (Nano, High pressure, Flux, Etc...)

6. Provide various types of Spin Chucks

  ▶ Vacuum Chuck, Bernoulli Chuck, Venturi Chuck, Edge Grip Chuck

 

Target Markets

1. QA or R&D Laboratories

2. Pilot Production lines

3. University / Institutes