PRODUCT

도전과 혁신을 통하여 비상하는 회사
(주)이노맥스입니다.

SINGLE SPIN PROCESSOR
METAL SPIN ETCHER
제품설명
Plating 공정으로 생성된 UBM & Cu RDL 등의 회로 부분을 제외한 나머지 Sputter 형성 된 금속 박막을 Chemical 등을 이용하여 제거하기 위한 설비로써 매입형 (낱장)으로 공정 진행.
제품 사양 및 스펙

Features

1. Standard or Customized design by Customers' requirements

2. High throughput & Small footprint

3. Selectives etching process for device side or back side

4. Non drip function to prevent recontamination

5. Standby cleaning funtion to prevent crystallization of Dispenser inside

6. Chemical "Recycle" or "On shot drain" with chamber cup separation

7. Fully isolated wafer handling between befor and after processing

 

Specification