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SINGLE SPIN PROCESSOR

ASTRO (Single Spin Processor)는 반도체 제조 공정의 Wafer Cleaning, Etching, Strip 등 다양한 공정 대응이 가능한 이노맥스의 매엽식 (낱장식) 장비 입니다.

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WET-STATION

TRAUM (WET-STATION)은 반도체 제조 공정 중 Etching, Strip 등의 공정을 진행하며 WAFER 1매~50매 처리하는 BATCH 처리 방식으로 USER 사양에 따라 CASSETTE TYPE 과 CASSETTELESS TYPE 방식으로 대응이 가능한 장비 입니다.

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CASSETTE CLEANER

CASSETTE CLEANER는 Foup, Casssette 그리고 Cassette Box 등을 회전 방식을 이용하여 세정 및 건조를 해 주는 장비입니다.

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SORTER

SORTER는 효율적인 반도체 생산과 Fab 운영을 위해 자동으로 Wafer의 Sort, Split, Gather 작업을 실행하는 장비입니다.

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LAB SERIES

SPIN LAB SERIES는 대학, 연구센터 등 개발을 목적으로 한 최적의 매엽식(낱장식) SPIN처리 방식의 TEST 장비입니다.

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(주)이노맥스
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